आईआर on Cutting-Edge IR Heating Technology

वेफरों के लिए परिशुद्धता संपन्न आईआर सेंसर

Wed, 22 Jul 2026 02:41:19 +0800

अपने IR लैंपों को अपने वेफर्स को नष्ट करने से रोकें

यदि आपने कभी हाई-लोड पर काम करते समय किसी लैंप के फटने का अनुभव किया है, तो आपको उसका अहसास होगा। समस्या सिर्फ बंद रहने का समय ही नहीं है… बल्कि उत्पन्न होने वाला गंदगी भी है।
क्वार्ट्ज के टुकड़े एवं हैलोजन गैसें सिलिकॉन पर गिरने से बहुत बड़ी समस्या हो जाती है। ऐसी स्थिति में पूरा बैच ही नष्ट हो सकता है। यह एक महंगी गलती है… लेकिन इसे टालना बहुत ही आसान है। हमने ऐसे ही प्रीसिजन IR लैंप बनाए हैं, ताकि ऐसी स्थितियाँ न हों।

आईआर लैंप के लिए एल्यूमीनियम रिफ्लेक्टर

Thu, 09 Jul 2026 14:23:33 +0800

एल्यूमिनियम रिफ्लेक्टर आईआर लैंप: सटीक जगह पर ऊष्मा, शून्य अपशिष्ट
हमने ऐसे एल्यूमिनियम रिफ्लेक्टर आईआर लैंपों को केवल एक ही उद्देश्य से बनाया है – ऊष्मा को ठीक उसी जगह पर भेजना, जहाँ उसकी आवश्यकता है, और कहीं और नहीं। सेमीकंडक्टर एवं सटीक निर्माण प्रक्रियाओं में, अनावश्यक ऊष्मा न केवल अपव्यय है, बल्कि यह उपकरणों को अत्यधिक गर्म कर सकती है, महंगे घटकों को नुकसान पहुँचा सकती है, एवं सुरक्षा संबंधी समस्याएँ भी पैदा कर सकती है।

बड़ी मात्रा में फैब आईआर लैंप उपलब्ध हैं।

Mon, 06 Jul 2026 04:25:07 +0800

अर्धचालक निर्माण हेतु उच्च-आउटपुट वाले इन्फ्रारेड लैंप
क्या आपको अपने उत्पादन उपकरणों के लिए सीधा विकल्प चाहिए? हम आपकी मदद कर सकते हैं। हमारे पास ऐसे इन्फ्रारेड लैंप हैं, जो मूल उपकरणों के समान ही ऊष्मा उत्पन्न करते हैं, एवं उतने ही विश्वसनीय भी हैं।

ये साधारण हीटर नहीं हैं… ये अर्धचालक निर्माण प्रक्रियाओं की कठिनाइयों के लिए विशेष रूप से डिज़ाइन किए गए हैं… जहाँ बेहतरीन तापमान नियंत्रण एवं तेज़ प्रतिक्रिया आवश्यक है।

आईआर इमिटर के लिए सिरेमिक एंड कैप

Tue, 09 Jun 2026 01:25:58 +0800

फैब फ्लोर पर, बेक प्रोफाइल विचलित होते हैं—और यील्ड प्रभावित होती है। पारंपरिक इमिटर वाफर पर तापमान को बराबर बनाए नहीं रख पाते। परिणामस्वरूप किनारे अधूरा कर्ड रहते हैं जबकि केंद्र ज्यादा गर्म होता है। यह असमानता समय, ऊर्जा और अच्छे डाई की बर्बादी करती है।

तकनीकी दृष्टिकोण से महत्वपूर्ण बातें

हम एक सेरामिक एंड कैप IR इमिटर चलाते हैं जो सब-मिलीमीटर समान ताप वितरण प्रदान करता है। इसका परिणाम वाफर-स्तर पर ±0.1°C के भीतर तापीय समानता होती है। सेरामिक बॉडी एमिसिविटी को स्थिर रखती है और तापमान पर तेजी से प्रतिक्रिया देती है, तथा इंजीनियर किए गए ज्यामिति थर्मल फील्ड को प्रक्रिया विंडो के अनुरूप आकार देती है।
सॉफ्ट बेक से लेकर हार्ड बेक तक, प्रोफाइल दोहराया जाता है—लॉट से लॉट, टूल से टूल। सिस्टम क्लास 1–100 क्लीनरूम में पार्टिकल काउंट को spike किए बिना काम करता है, और सेरामिक निर्माण फोटोरेसिस्ट में गैस उत्सर्जन नहीं करता तथा संदूषण नहीं फैलाता।

300 मिमी वेफर के लिए समान तापमान IR

Mon, 01 Jun 2026 18:11:53 +0800

300mm लाइन पर, फोटोरेसिस्ट बेक वह चरण है जहाँ आप थर्मल बजट को लॉक करते हैं। यदि बेक के दौरान किनारे पर तापमान अधिक या कम हो, या हार्ड बेक के दौरान ड्रिफ्ट हो, तो आपकी CD युनिफॉर्मिटी बिगड़ जाती है—स्क्रैप बढ़ता है जबकि शेड्यूलर लगातार उसी लॉट को धकेलता रहता है। हमने 300mm वेफर IR हीटिंग मॉड्यूल इस अस्थिरता को खत्म करने के लिए बनाया है।

वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है
300mm वेफर पर समान तापमान प्राप्त करना एक शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटर एरे और क्वार्ट्ज-आधारित थर्मल डिज़ाइन से शुरू होता है जो पूरे सतह पर ±0.1°C की सीमा में वेफर-स्तरीय युनिफॉर्मिटी बनाए रखता है। तापमान वृद्धि दोहराने योग्य होती है, इसलिए सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक प्रोफाइल रेसिपी के अनुरूप बिल्कुल ट्रैक होते हैं, बैच दर बैच। यह मॉड्यूल क्लास 1–100 क्लीनरूम में बिना पार्टिकल्स जोड़े चलता है—सील्ड एमिटर, इनर्ट क्वार्ट्ज पाथ और क्लीनरूम-अनुकूल फिक्स्चर पार्टिकल जनरेशन को शून्य पर बनाए रखते हैं।