http://ir-heater-tech.com/he/tags/300-%D7%9E%D7%9E/ Recent content in 300 ממ on Cutting-Edge IR Heating Technology Hugo he Mon, 01 Jun 2026 18:11:53 +0800 http://ir-heater-tech.com/he/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ Mon, 01 Jun 2026 18:11:53 +0800 http://ir-heater-tech.com/he/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ <p><img src="http://ir-heater-tech.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="חימום אחיד לצלחת 300 מ מ IR"></p> <p>בקו של 300 מ&quot;מ, אפיית הפוטורזיסט היא השלב שבו מקבעים את התקציב התרמי. קצה חם או קר, סטייה במהלך אפיית הקשה, ותפוקת ה-CD מתפרקת—פגמים מצטברים בעוד המתזמן ממשיך לדחוף את אותו הסבב. בנינו את מודול החימום IR לוופרים של 300 מ&quot;מ כדי להסיר את השונות הזו מהמשוואה.</p> <p><strong>מה שבאמת חשוב</strong><br> השגת חימום אחיד על פני וופר של 300 מ&quot;מ מתחילה במערך פולט אינפרא-אדום בגל קצר ובעיצוב תרמי מבוסס קוורץ ששומר על אחידות ברמת הוופר בתוך ±0.1°C על פני כל המשטח. העלאות הטמפרטורה הן חוזרות ונשנות, כך שפרופילי אפיית הרכה והקשיחה מתאימים במדויק למתכון, סבב אחרי סבב. המודול פועל בחדרי נקיון Class 1–100 ללא הוספת חלקיקים—פולטים אטומים, מסלולי קוורץ אינרטיים, ומתאמים התואמים לחדר נקיון שומרים על יצירת חלקיקים באפס.</p>