חוט חלופי לנורת fab

בחדרי הייצור, תהליך האפייה העדין אינו סתם שלב נוסף בתהליך – זו למעשה הבסיס התרמי לכל מערך הליתוגרפיה. שינוי בטמפרטורה של רק 0.5°C בלבד על פני הוואפר...