http://ir-heater-tech.com/he/tags/%D7%A4%D7%95%D7%98%D7%95%D7%A8%D7%96%D7%99%D7%A1%D7%98/ Recent content in פוטורזיסט on Cutting-Edge IR Heating Technology Hugo he Mon, 22 Jun 2026 19:38:16 +0800 http://ir-heater-tech.com/he/posts/photoresist-curing-infrared-lamp/ Mon, 22 Jun 2026 19:38:16 +0800 http://ir-heater-tech.com/he/posts/photoresist-curing-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-tech.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="מנורת אינפרא אדום לייבוש חומר הפוטורזיסט"></p> <p>בחדר הייצור, הבקרה על הטמפרטורה בתהליך הליתוגרפיה מתחילה עם שלבי החימום הראשוניים. שינוי של 1.5°C בטמפרטורה, או אזורים קרים על גבי הוואפר, יכולים לגרום לשינויים משמעותיים בממדים החשובים של הוואפר. זו הסיבה שלפעמים צריך לזרוק כמויות שלמות של וואפרים, דבר שעלול לעכב את תהליך הייצור.</p> <p>יצרנו נורות אינפרא-אדום לטיפול בחומר הפוטורזיסט, כדי לשמור על יציבות הטמפרטורה בכל שלב של התהליך. מה שחשוב באמת הוא הבקרה על רמת הטמפרטורה על גבי הוואפר עצמו. מקור האנרגיה בגלי אינפרא-אדום מזרים אנרגיה ישירות לתוך החומר הפוטורזיסט, במהירות, ובכך שומר על אחידות הטמפרטורה על גבי הוואפר בטווח של ±0.1°C. גוף הנורה עשוי מקוורץ, עם משקפים בעלי טווח החזרה גבוה, כך שהנורה עובדת בצורה יעילה בסביבה מסוג Class 1–100, ללא הוספת חלקיקים.</p>