בקו 300 ממ, סטייה של חצי מעלה במהלך תהליך החימום של הפוטורזיסט יכולה להפוך את המוצר הטוב לפסולת. הגדלת הדיוקים של הסורק לבדה לא תפתור את הבעיה. יש צורך שתהליך החימום עצמו יהיה מדויק.
יצרנו נורה אינפרא-אדומה עם להב אוויר משולב, כדי להתמודד עם שתי בעיות עיקריות: סטיות תרמיות וזיהום. שתי בעיות אלו פוגעות בדיוק התהליך, עוד לפני שניתן לראות אותן בתרשימי המדידה.
מה חשוב באמת? המכשיר משלב גוף פליטה של אור אינפרא-אדום בגלים קצרים עם להב אוויר שנמצא ממש לידו. הנורה מחממת במהירות ובצורה מדויקת, עם שליטה קפדנית בספקטרום האור. כך נשמרת שליטה על הסטיות התרמיות.
האחידות של הטמפרטורה על פני הוואפר נשמרת בטווח של ±0.1°C, ואנו בודקים זאת באמצעות מיפוי במקום, ולא על ידי חישובים מתוך חיישן בודד. הלהב האווירי יוצר זרם אוויר ישר שמסיר את החלקיקים והלחות מהפני השטח, ואז מוציא אותם מהתא. מספר החלקיקים נשמר ברמה של חדר נקי מסוג 1–100.
התוצאה היא יציבות תרמית בתהליך החימום, שליטה טובה על הממדים החיוניים של המוצר, ופחות צורך בעבודות תיקון.
למה זה עובד בליתוגרפיה? עיבוד הפוטורזיסט דורש תנאים מדויקים – הוא רגיש לשינויי טמפרטורה ולפגמים באוויר. המכשיר הזה מגיע לטמפרטורה הרצויה במהירות, כך שזמן ההמתנה פוחת, והפרופיל של תהליך החימום נשאר יציב מראשית לסוף התהליך.
כל החומרים שמשמשים במכשיר מתאימים לשימוש בחדר נקי, ומסלול האוויר סגור, כך שאין חשש מפליטת חומרים. צריכת האנרגיה נמוכה יותר מאשר בתנורים רגילים, מכיוון שהאנרגיה נכנסת ישירות לסרט הפוטורזיסט, ולא לקירות התנור.
האמינות של המכשיר נובעת מהזמן שהוא יכול לעבוד – המכשיר יכול לעבוד למעלה מ-5,000 שעות עם ירידה של פחות מ-5% בביצועיו, מה שמאפשר פעולה 24/7 ללא הפסקות לא צפויות.
פרטים חשובים שאי אפשר להתעלם מהם ההתקנה דורשת חיבור מיוחד למערכת הפליטה, ויש צורך לוודא את איכות אספקת האוויר. אם הסינון אינו איכותי, חלקיקים עלולים להיכנס שוב למערכת.
הנורה פועלת בצורה הטובה ביותר כאשר יש קו ראייה ישר לוואפר, כך שיש לשים לב לגאומטריה של החדר בו מתבצע התהליך.
יש להגדיר את לחץ האוויר במסגרת המותרת. לחץ גבוה מדי עלול לפגוע בפוטורזיסט, ולחץ נמוך מדי עלול לפגוע ביכולת להסיר חלקיקים. יש גם להתאים את ספקטרום האור של הנורה לספקטרום הספיגה של הפוטורזיסט – כך ניתן להשיג אחידות מרבית.