Lampe de chauffage d eau ultra pure

Wed, 24 Jun 2026 01:28:52 +0800

Sur la ligne de 300 mm, une déviation de température de demi-degré pendant le processus de cuisson suffit à faire sortir les dimensions critiques des spécifications requises – ce qui entraîne la perte d’un grand nombre de wafers. Ces lampes de chauffage utilisant de l’eau ultra-pure ne sont pas des accessoires supplémentaires : elles constituent en fait un élément essentiel pour maintenir une température constante dans les salles propres de classe 1–100.

Nous avons conçu cette lampe pour utiliser des ondes infrarouges à courte longueur d’onde, ce qui permet un chauffement rapide et uniforme du fluide, sans zones chaudes. La uniformité thermique reste inférieure ou égale à ±0,1 °C, ce qui garantit que les paramètres de cuisson restent stables d’un cycle à l’autre. Sa construction, basée sur du quartz et des composants résistants à la corrosion, empêche toute formation de particules et permet une utilisation continue dans des conditions de haute pureté.

Eau on Cutting-Edge IR Heating Technology

Lampe de chauffage d eau ultra pure