Ci-dessous se trouvent les pages utilisant le terme taxonomique “Chaleur” Chauffage uniforme pour wafer IR de 300 mm Sur une ligne 300mm, le recuit du photoresist est l’étape où l’on verrouille le budget thermique. Un bord trop chaud ou trop froid, une dérive... Read more...
Chauffage uniforme pour wafer IR de 300 mm Sur une ligne 300mm, le recuit du photoresist est l’étape où l’on verrouille le budget thermique. Un bord trop chaud ou trop froid, une dérive... Read more...
