http://ir-heater-tech.com/fa/tags/%DB%8C%DA%A9%D8%AF%D8%B3%D8%AA/ Recent content in یکدست on Cutting-Edge IR Heating Technology Hugo fa Mon, 01 Jun 2026 18:11:53 +0800 http://ir-heater-tech.com/fa/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ Mon, 01 Jun 2026 18:11:53 +0800 http://ir-heater-tech.com/fa/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ <p><img src="http://ir-heater-tech.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="گرمایش یکنواخت برای ویفر ۳۰۰ میلیمتری IR"></p> <p>در یک خط 300mm، پخت فوتورزیست جایی است که بودجه حرارتی را قفل می‌کنید. یک لبه داغ یا سرد، انحراف در طول پخت سخت، باعث از بین رفتن یکنواختی CD می‌شود—ضایعات انباشته می‌شود در حالی که برنامه‌ریز همچنان همان دسته را جلو می‌برد. ما ماژول گرمایش IR ویفر 300mm را ساختیم تا این تغییرپذیری را از معادله حذف کند.</p> <p><strong>آنچه واقعاً اهمیت دارد</strong></p> <p>دستیابی به گرمایش یکنواخت در سراسر یک ویفر 300mm با آرایه‌ای از انتشاردهنده‌های مادون قرمز کوتاه‌موج و طراحی حرارتی مبتنی بر کوارتز شروع می‌شود که یکنواختی در سطح ویفر را در محدوده ±0.1°C در کل سطح حفظ می‌کند. شیب‌های دمایی قابل تکرار هستند، بنابراین پروفیل‌های پخت نرم و پخت سخت دقیقاً مطابق دستور پخت، دسته به دسته دنبال می‌شوند. این ماژول در اتاق‌های تمیز کلاس 1–100 بدون تولید ذرات کار می‌کند—انتشاردهنده‌های مهر و موم شده، مسیرهای کوارتزی غیر فعال و اتصالات سازگار با اتاق تمیز، تولید ذرات را به صفر می‌رسانند.</p>