http://ir-heater-tech.com/fa/tags/%D9%85%D8%AA%D9%88%D8%B3%D8%B7/ Recent content in متوسط on Cutting-Edge IR Heating Technology Hugo fa Sun, 31 May 2026 02:52:50 +0800 http://ir-heater-tech.com/fa/posts/medium-wave-infrared-heater-for-wafer/ Sun, 31 May 2026 02:52:50 +0800 http://ir-heater-tech.com/fa/posts/medium-wave-infrared-heater-for-wafer/ <p><img src="http://ir-heater-tech.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="هیتر مادون قرمز موج متوسط برای ویفر"></p> <p>در سالن لیتوگرافی، چراغ فر روشن می‌شود، زنگ بالا می‌رود و شما منتظر می‌مانید تا ویفر به نقطه تنظیم برسد. نه «نزدیک». نقطه تنظیم. در هر بار اجرا.<br> پخت نرم که دچار انحراف شود باعث تغییر ویسکوزیته رزین و رفتار موج ایستاده می‌شود. پخت سختی که یکنواخت نباشد، باقی‌مانده لبه‌ای به جا می‌گذارد، عمق شکاف بازتاب را جابجا می‌کند و کنترل ابعاد بحرانی (CD) را به چالشی روزانه تبدیل می‌کند. وقتی یکنواختی حرارتی به هم می‌ریزد، اعتماد به ابزار از بین می‌رود. به جای اجرای پنجره فرآیند، شروع به دنبال کردن انحرافات می‌کنید.<br> هیترهای مادون قرمز موج متوسط برای همین محدودیت ساخته شده‌اند: تحویل دمای قابل تکرار با کنترل فضایی زیر میلی‌متری میدان گرمایی.</p>