http://ir-heater-tech.com/fa/tags/%D9%81%D9%88%D8%AA%D9%88%D8%B1%D8%B2%DB%8C%D8%B3%D8%AA/ Recent content in فوتورزیست on Cutting-Edge IR Heating Technology Hugo fa Mon, 22 Jun 2026 19:38:13 +0800 http://ir-heater-tech.com/fa/posts/photoresist-curing-infrared-lamp/ Mon, 22 Jun 2026 19:38:13 +0800 http://ir-heater-tech.com/fa/posts/photoresist-curing-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-tech.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="لامپ مادونقرمز برای خشک کردن فوتورزیست"></p> <p>در خط تولید، بودجه حرارتی مورد نیاز برای فرآیند لیتوگرافی، از مراحل فرآوری نرم و سخت شروع می‌شود. تغییر دما در حدود ۱.۵ درجه سانتی‌گراد، یا وجود نقاط سرد در سطح ویفر، می‌تواند باعث تغییرات قابل توجهی در ابعاد مهم ویفر شود. این امر منجر به اهدار کردن کل محموله‌های تولید شده و توقف فرآیند تولید می‌شود.</p> <p>ما لامپ‌های مادون قرمز را طوری طراحی کرده‌ایم که پروفایل حرارتی را در طول فرآیند تولید، پایدار نگه دارند. آنچه واقعاً اهمیت دارد، کنترل دما در سطح ویفر است. منبع انرژی مادون قرمز ما، انرژی را مستقیماً و به سرعت به داخل ماده حساس به نور منتقل می‌کند؛ در نتیجه، یکنواختی دمای سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد حفظ می‌شود. بدنه لامپ از کوارتز ساخته شده است و دارای آینه‌های با خلوص بالاست؛ بنابراین این لامپ در محیط‌های کلاس ۱-۱۰۰ به خوبی کار می‌کند و هیچ ذره‌ای ایجاد نمی‌شود.</p>