چرا از فناوری خشککردن با امواج مادونقرمز برای پردازش ویفرها استفاده میکنیم؟
بیایید درباره فرآیندهای خشککردن و تثبیت مواد صحبت کنیم. در دنیای نیمههادیها، ما عمدتاً از روشهای قدیمی استفاده را کنار گذاشتهایم؛ یعنی روشهایی که نیاز به سوختن مواد شیمیایی داشت. به جای آن، از فناوری امواج مادونقرمز استفاده میکنیم.
این روش تمیزتر است؛ با استفاده از انرژی تابشی مستقیم، میتوانیم از فرآیندهایی که نیاز به استفاده از مواد شیمیایی دارند، خودداری کنیم. این روش، روشی سادهتر و سازگارتر با محیط زیست برای انجام کارهاست.
نحوه عملکرد گرما
فکر کنید به یک فر معمولی؛ این فر باید ابتدا همه هوای داخل آن را گرم کند تا غذا گرم شود. این کار، هدر رفتن زمان و انرژی است.
لامپهای امواج مادونقرمز متفاوت هستند؛ آنها انرژی را مستقیماً به سطح ویفر منتقل میکنند. نیازی به دستگاههای پردازش هوا نیست، و نیازی به انتظار نیز نیست. ما از لامپهای امواج کوتاه و متوسط استفاده میکنیم؛ زیرا این لامپها انرژی را دقیقاً در جایی که لازم است، منتقل میکنند، بدون اینکه سطح ویفر را بسوزانند. این روش دقیقتر است، و در نتیجه، مصرف انرژی نیز کمتر میشود.
تعادل بین فاصله و تراکم
تعیین فاصله مناسب بین لامپ و ویفر بسیار مهم است. اگر لامپها خیلی نزدیک قرار گیرند، باعث ایجاد نقاط داغ شده و لبههای ویفرها سوخته خواهند شد. اما اگر لامپها خیلی دور قرار گیرند، انرژی بیشتری در اتاق هدر خواهد رفت.
ما زمان زیادی را صرف تنظیم این فاصله بر اساس توان و طول موج لامپها میکنیم. لامپهایی با توان بالا، انرژی زیادی تولید میکنند؛ اما باید مطمئن شویم که سیستم خنککنندگی میتواند انرژی بازتابی را مدیریت کند. در غیر این صورت، لامپ خودش خواهد سوخت.
مزایا و معایب
بهترین ویژگی فناوری خشککردن با امواج مادونقرمز این است که یک فرآیند «خشک» است؛ یعنی نیازی به مقابله با مواد شیمیایی یا تصفیه گازهای آلاینده نیست. سیستمهای فیلتراسیون نیز سادهتر خواهند بود.
البته یک مشکل وجود دارد؛ هنگامی که لامپها شروع به کار میکنند، مصرف انرژی ناگهان افزایش مییابد. بنابراین، نیاز به منبع تغذیه پایداری وجود دارد تا از کاهش ولتاژ جلوگیری شود.
اما پس از رسیدن به دمای مورد نظر، همه چیز سریعتر انجام میشود؛ زمان انجام کار کمتر میشود، و مصرف انرژی نیز کمتر خواهد بود. این روش، روشی کارآمدتر است.