متوقف کنید این شکستگیها را: حفاظت از ویفرهای شما در برابر خرابی لامپها
در خطوط تولید نیمههادی با ظرفیت بالا، خرابی لامپهای مادون قرمز واقعاً یک فاجعه است. مسئله فقط جایگزینی قطعات خراب شده نیست؛ بلکه مشکلاتی که این خرابیها ایجاد میکنند نیز مهم هستند.
وقتی لوله کوارتزی در کنار ویفرها پاره میشود، تکههای شیشه و ذرات اکسید فلزی روی محصولات شما میافتند؛ در این صورت، محصولات شما بیفایده خواهند شد. ما زمان زیادی را صرف یافتن راههایی کردهایم تا از وقوع چنین اتفاقاتی جلوگیری کنیم.
دلایل خرابی لولهها
در اکثر موارد، دلیل خرابی لولهها، شوک حرارتی است. اگر توان زیادی به لولههای بسیار نازک وارد شود، شیشه نمیتواند این فشار را تحمل کند و در نتیجه پاره میشود.
برای جلوگیری از این مشکل، از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ این ماده قادر است این شوکهای حرارتی را تحمل کند. به این ترتیب، لولهها میتوانند در شرایط سخت نیز مقاومت کنند.
استفاده از سپرهای حفاظتی
اما ما فقط به قدرت تحمل شیشه اعتماد نمیکنیم؛ چون این روش پرخطر است.
بنابراین، از سپرهای حفاظتی استفاده میکنیم؛ این سپرها مانند یک مانع فیزیکی عمل میکنند. اگر لامپ خراب شود، این سپرها تکههای شیشه را جذب کرده و از رسیدن آنها به ویفرها جلوگیری میکنند.
همچنین، به جنبههای الکتریکی لامپها نیز توجه کردهایم؛ بسیاری از لولهها به دلیل اتصالات نامناسب خراب میشوند. ما این اتصالات را با اتصالات دقیقتر جایگزین کردهایم؛ در نتیجه، دیگر هیچ مشکل حرارتی وجود نخواهد داشت.
واقعیت استفاده از لامپهای با توان بالا
مشکل اینجاست که شما میخواهید از لامپهای با توان بالا استفاده کنید؛ چون آنها سریع گرم میشوند و گرمای سریع باعث افزایش بازدهی تولید میشود. اما یک مشکل وجود دارد: توان بالا باعث افزایش فشار گاز هالوژن در داخل لوله میشود. در این صورت، دمای لوله بسیار بالا میرود و کوارتز دیگر نمیتواند این فشار را تحمل کند.
سپرهای حفاظتی کمک میکنند، اما بهترین راه برای حفظ لامپها، حفظ جریان هواست؛ اگر هوا روان باشد، مشکلاتی پیش نخواهد آمد.