Calefactor de infrarrojo de onda media para obleas

Sun, 31 May 2026 02:52:50 +0800

En la sala de litografía, se enciende la luz del horno, se eleva la campana y se espera a que el wafer alcance el punto de ajuste. No “cerca”. El punto de ajuste. Cada corrida.
Un soft bake que deriva cambia la viscosidad del resist y el comportamiento de ondas estacionarias. Un hard bake que no es uniforme deja residuos en los bordes, desplaza la profundidad de la muesca de reflexión y convierte el control del CD en una lucha diaria. Cuando la uniformidad térmica falla, se pierde la confianza en la herramienta. Se empieza a perseguir las desviaciones en lugar de operar dentro de la ventana de proceso.
Los calentadores infrarrojos de onda media fueron diseñados para esa restricción: entrega repetible de temperatura con control espacial submilimétrico del campo térmico.

Medio on Cutting-Edge IR Heating Technology

Calefactor de infrarrojo de onda media para obleas