Calentador para la fabricación de sensores de hidrógeno

Fri, 03 Jul 2026 03:58:22 +0800

En el área de fabricación, los calentadores de sensores de hidrógeno no pueden permitirse ningún tipo de desviación en su funcionamiento. Una desviación de medio grado durante los procesos de cocción puede alterar el control de las dimensiones críticas del wafer, lo que hace que la línea de producción se detenga. Hemos diseñado este calentador para que funcione día tras día en salas limpias de clase 1–100, sin interrupciones no planificadas.

Lo que es importante en su funcionamiento Utiliza elementos de cuarzo infrarrojo de onda corta para una transferencia de calor rápida y eficiente. Además, mantiene la uniformidad de temperatura a nivel del wafer dentro de un rango de ±0.1°C. Los puntos de referencia de temperatura se mantienen constantes a lo largo de miles de ciclos de cocción, lo que garantiza que los parámetros de cocción sigan siendo los mismos en cada turno. El cuerpo y los sellos del calentador están diseñados para evitar la generación de partículas, lo que ayuda a mantener bajo control el número de partículas durante el proceso de litografía. Además, funciona continuamente a plena carga, sin necesidad de mantenimiento.

Hidrógeno on Cutting-Edge IR Heating Technology

Calentador para la fabricación de sensores de hidrógeno