Heizer zur Herstellung von Wasserstoff Sensoren

Fri, 03 Jul 2026 03:58:22 +0800

In den Produktionsstätten dürfen die Heizgeräte für Wasserstoffsensor nicht abweichen von ihren eingestellten Werten. Eine Abweichung von einem halben Grad während des Weich- oder Hartbrennvorgangs stört die präzise Steuerung der Temperatur und führt dazu, dass die Produktion zum Stillstand kommt. Wir haben dieses Heizgerät so konstruiert, dass es Tag für Tag in Reinräumen der Klasse 1–100 eingesetzt werden kann, ohne dass es zu unplanmäßigen Stopps kommt.

Was wirklich wichtig ist
Das Gerät nutzt Kurzwellen-Infrarotquarzelemente für eine schnelle und effiziente Wärmeübertragung. Dadurch bleibt die Temperatur auf dem Wafer bei ±0,1°C konstant. Die Temperaturwerte bleiben über Tausende von Brennzyklen hinweg konstant, sodass die Profile für den Weich- und Hartbrennvorgang von Schicht zu Schicht gleichbleiben. Der Gehäuseaufbau sowie die Dichtungen sind so gestaltet, dass keine Partikel entstehen – dadurch bleibt die Anzahl der Partikel bei der Lithografie unter Kontrolle. Zudem arbeitet das Gerät kontinuierlich bei voller Leistung – es sind keine Wartungsintervalle notwendig.

Wasserstoff on Cutting-Edge IR Heating Technology

Heizer zur Herstellung von Wasserstoff Sensoren