Lampe zur Erwärmung von ultrareinem Wasser

Wed, 24 Jun 2026 01:28:52 +0800

Bei der Verarbeitung mit einer Wellenlänge von 300 mm reicht bereits eine Temperaturverschiebung von einem halben Grad während des Weichbrennvorgangs aus, um die geforderten Kriterien bezüglich der kritischen Abmessungen nicht zu erfüllen – und dadurch viele Wafer als Schrott zu verschwenden. Die ultrareinen Wasserverwärmungslampen sind keine Zusatzkomponenten; sie bilden vielmehr die Grundlage für eine konstante Temperatur im Bereich der Reinräume der Klassen 1–100.

Wir haben die Lampe so konstruiert, dass sie kurzwelliges Infrarotlicht verwendet – dieses passt perfekt zur Absorption durch Wasser. Dadurch wird eine schnelle Erwärmung des Wassers ohne Hotspots erreicht. Die thermische Homogenität bleibt dabei bei ±0,1 °C – das macht die Brennvorgänge wiederholbar und zuverlässig. Die Konstruktion aus Quarz sowie korrosionsbeständigen Elementen sorgt dafür, dass es zu keiner Partikelbildung kommt, und ermöglicht außerdem eine kontinuierliche Nutzung unter Bedingungen von hochreinem Wasser.

Wasser on Cutting-Edge IR Heating Technology

Lampe zur Erwärmung von ultrareinem Wasser