Sensor on Cutting-Edge IR Heating Technology

Intelligente Sensorverpackung für Infrarot

Wed, 22 Jul 2026 02:55:38 +0800

Lassen Sie nicht zu, dass Ihre Heizgeräte Ihre Reinraumumgebung ruinieren.
Wenn Sie einen Class-100-Umfeld betreiben, wissen Sie bereits, dass Luftfilter nur die halbe Lösung sind. Das eigentliche Problem sind die Stoffe, die man nicht sehen kann.

Die meisten herkömmlichen Infrarotlampen sind in einer sterilen Umgebung ein Albtraum. Sie verwenden billige Bindemittel oder minderwertiges Glas – dieses Glas beginnt bereits bei Erwärmung zu bröckeln oder gibt VOCs ab. Das ist praktisch so, als würde man eine Rauchmaschine in den Reinraum stellen.

Präziser Infrarot Sensor für Wafern

Wed, 22 Jul 2026 02:41:19 +0800

Verhindern Sie, dass Ihre IR-Lampen Ihre Wafer zerstören
Wenn Ihnen schon einmal eine Lampe mitten in einem intensiven Betriebszyklus ausgefallen ist, kennen Sie das Problem. Es geht nicht nur um die dadurch entstehende Stillstandzeit – es geht auch um den Schmutz, der entsteht. Quarzkörner und Halogengas, die auf die Siliziumwafer fallen, sind ein Albtraum. Ein einziger Ausfall kann dazu führen, dass ganze Chargen ruiniert werden. Das ist ein teurer Fehler – doch er lässt sich überraschend leicht vermeiden. Wir haben unsere präzisen IR-Lampen so konstruiert, dass das nicht passiert.

Trocknungsheizer für MEMS Sensorwafer

Tue, 21 Jul 2026 02:13:03 +0800

Das Trocknen von MEMS-Sensormassen nach einer chemischen Reinigung ist ein äußerst riskanter Prozess. Warum? Weil man damit im Grunde genommen mit Feuer spielt. Wenn brennbare oder explosive Chemikaliendämpfe in der Luft schweben, ist eine herkömmliche Infrarotlampe nicht nur ein Werkzeug – sie stellt vielmehr eine Gefahr dar. Eine kleine Funke oder eine überhitzte Stelle an den Elektrokontakten kann zu einem heftigen Brand führen. Das ist ein Albtraumszenario, das die Betreiber von Produktionsanlagen nachts wach hält.

Vermeidung von Funkenentstehung
Wir haben beschlossen, auf herkömmliche Lampenverschlüsse zu verzichten. Stattdessen wurde der Quarztubus in einen verschlossenen, chemikalienbeständigen Behälter eingebaut. Man kann das als einen Schutzkokon betrachten – er isoliert die Elektrokontakte vollständig von der Umgebungsluft. Dadurch können die flüchtigen organischen Verbindungen nicht einmal in die Nähe der geladenen Kontakte gelangen.

Heizer zur Herstellung von Wasserstoff Sensoren

Fri, 03 Jul 2026 03:58:22 +0800

In den Produktionsstätten dürfen die Heizgeräte für Wasserstoffsensor nicht abweichen von ihren eingestellten Werten. Eine Abweichung von einem halben Grad während des Weich- oder Hartbrennvorgangs stört die präzise Steuerung der Temperatur und führt dazu, dass die Produktion zum Stillstand kommt. Wir haben dieses Heizgerät so konstruiert, dass es Tag für Tag in Reinräumen der Klasse 1–100 eingesetzt werden kann, ohne dass es zu unplanmäßigen Stopps kommt.

Was wirklich wichtig ist
Das Gerät nutzt Kurzwellen-Infrarotquarzelemente für eine schnelle und effiziente Wärmeübertragung. Dadurch bleibt die Temperatur auf dem Wafer bei ±0,1°C konstant. Die Temperaturwerte bleiben über Tausende von Brennzyklen hinweg konstant, sodass die Profile für den Weich- und Hartbrennvorgang von Schicht zu Schicht gleichbleiben. Der Gehäuseaufbau sowie die Dichtungen sind so gestaltet, dass keine Partikel entstehen – dadurch bleibt die Anzahl der Partikel bei der Lithografie unter Kontrolle. Zudem arbeitet das Gerät kontinuierlich bei voller Leistung – es sind keine Wartungsintervalle notwendig.