Infrarotheizung für LCD Panel Fertigung

Fri, 05 Jun 2026 01:47:37 +0800

Auf einem LCD-Fertigungsbereich zeigt sich thermischer Drift nicht mit einem Neonzeichen. Er frisst leise die Überlagerungsmarge, verstärkt den Druck auf die CD-Einheitlichkeit und verschiebt die Fotolackprofile vom Ziel. Wenn der Backprozess den Sollwert über das Glas nicht halten kann, zahlen Sie dafür mit verschrotteten Substraten und Erträgen, die nicht stabil bleiben.

Was unter der Haube wichtig ist

Wir haben den Infrarot-Heizer um kurzwellige Quarzstrahler aufgebaut. Direkte Energieübertragung, schnelle thermische Reaktion – keine zusätzlichen Schritte, keine Verzögerungen. Im aktiven Bereich liegt die Wafer-Einheitlichkeit innerhalb von ±0,1°C, und die Wiederholgenauigkeit wird bis auf die Millisekunde nachverfolgt. Das System läuft sauber: null Partikelerzeugung, kein Ausgasen, und es funktioniert in Reinräumen der Klasse 1–100 ohne Probleme. Die Temperaturregelung ist geschlossen, mit hochauflösenden Sensoren und strenger Leistungsregulierung. So erhalten Sie das gleiche thermische Budget bei jedem Soft-Bake und Hard-Bake, Charge für Charge.

Panel on Cutting-Edge IR Heating Technology

Infrarotheizung für LCD Panel Fertigung

Was unter der Haube wichtig ist