Verhindern Sie Bruchstücke – Schützen Sie Ihre Wafer vor Defekten der Lampen
In einer Produktionslinie mit hohem Durchsatz ist ein defekter Infrarotstrahler ein echtes Problem. Es geht nicht nur darum, die defekte Komponente auszutauschen – es geht auch um den Ärger, den dieser Defekt verursacht.
Wenn eine Quarzröhre über dem Waferwagen zerbricht, fallen Glasscherben und Metalloxidpartikel auf die Wafer. Das bedeutet sofortiges Aussortieren der Produkte. Wir haben viel Zeit investiert, um herauszufinden, wie man vermeiden kann, dass das passiert.
Warum Röhren eigentlich brechen
Meistens liegt der Grund im thermischen Schock. Wenn zu viel Leistung durch eine zu dünne Röhre geleitet wird, kann das Glas den Druck nicht aushalten – es bricht.
Um dieses Problem zu beheben, verwenden wir hochreinen synthetischen Quarz. Dieser Materialtyp kann solche extremen Temperaturschwankungen aushalten. Dadurch können die Röhren auch während des Startvorgangs Belastungen standhalten, ohne zu brechen.
Eine zusätzliche Sicherheitsmaßnahme
Aber wir verlassen uns nicht nur auf das Glas als Schutzmaßnahme. Das wäre zu riskant. Deshalb bauen wir einen schützenden Käfig um die Röhren herum. Stellen Sie sich das wie eine physische Barriere vor. Wenn eine Lampedefekt auftritt, fangen diese Barrieren die Bruchstücke ab, sodass diese nicht auf die Wafer fallen können.
Wir haben auch auf die elektrische Seite geachtet. Viele Röhren versagen aufgrund von locker sitzenden Steckverbindungen. Wir ersetzen diese durch präzise passende Steckverbinder sowie stabile Verkabelung. Keine mehr ungewöhnlichen Temperaturunterschiede, keine mehr Risse im Glas.
Die Realität hoher Leistungen
Man möchte zwar Lampen mit hoher Leistung verwenden, weil sie schnell heiß werden – und schnelle Erwärmung bedeutet höhere Produktionsgeschwindigkeit. Doch da gibt es ein Problem: Höhere Leistung erhöht den Druck des Halogengases innerhalb der Röhre. Hier kommt die Luftzirkulation ins Spiel. Wenn die Kühllüfter ausfallen oder etwas die Luftzirkulation stört, steigt die Temperatur der Röhre stark an – weit über das, was das Quarzmaterial aushalten kann.
Der Schutzkäfig hilft zwar, aber die beste Lösung ist, die Luftzirkulation aufrechtzuerhalten. So können Sie viele Probleme vermeiden.