http://ir-heater-tech.com/cs/tags/vlna/ Recent content in Vlna on Cutting-Edge IR Heating Technology Hugo cs Sun, 31 May 2026 02:52:50 +0800 http://ir-heater-tech.com/cs/posts/medium-wave-infrared-heater-for-wafer/ Sun, 31 May 2026 02:52:50 +0800 http://ir-heater-tech.com/cs/posts/medium-wave-infrared-heater-for-wafer/ <p><img src="http://ir-heater-tech.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Středovlnný infračervený ohřívač pro destičky"></p> <p>Na lithografické podlaze se rozsvítí světlo pece, zvonek se zvedne a čekáte, až se wafer dostane na <a href="https://henruite.com">nastavenou</a> hodnotu. Ne „blízko“. Nastavenou hodnotu. Každý běh. Měkké pečení, které se posouvá, mění viskozitu rezistu a chování stojatých vln. Nejednotné tvrdé pečení zanechává okrajové zbytky, mění hloubku reflexního zářezu a proměňuje řízení kritických rozměrů (CD) v denní boj. Když je tepelná uniformita mimo, přestáváte nástroji důvěřovat. Místo provozování procesního okna začnete honit výkyvy. Střední vlnové infračervené topení bylo navrženo pro toto omezení: opakovatelná dodávka teploty s prostorovým řízením tepelného pole pod milimetr.</p>