http://ir-heater-tech.com/cs/tags/300mm/ Recent content in 300mm on Cutting-Edge IR Heating Technology Hugo cs Mon, 01 Jun 2026 18:11:53 +0800 http://ir-heater-tech.com/cs/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ Mon, 01 Jun 2026 18:11:53 +0800 http://ir-heater-tech.com/cs/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ <p><img src="http://ir-heater-tech.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Rovnoměrné ohřívání IR pro 300mm plátek"></p> <p>Na lince pro 300mm wafer je proces pečení fotorezistu místem, kde se uzamyká tepelný rozpočet. Horký nebo studený okraj, posun během tvrdého pečení a <a href="https://o-yate.com">uniformita</a> CD se rozpadá – odpad se hromadí, zatímco plánovač neustále tlačí stejnou šarži. Vyvinuli jsme 300mm IR topný modul pro wafer, aby se tato variabilita eliminovala.</p> <p><strong>Co skutečně záleží</strong><br> Zajištění rovnoměrného ohřevu přes 300mm wafer začíná mřížkou krátkovlnných infračervených emitterů a křemenným tepelným designem, který udržuje uniformitu na úrovni waferu v rozsahu ±0,1°C přes celou plochu. Teplotní rampy jsou opakovatelné, takže profily měkkého a tvrdého pečení přesně kopírují recepturu šarže za šarží. Modul pracuje v čistých prostorách třídy 1–100 bez přidávání částic – uzavřené emitery, inertní křemenné cesty a přípravky kompatibilní s čistými prostory udržují produkci částic na nule.</p>