V řadě 300 mm stačí během procesu vypalování fotorezistu posun o půl stupně, aby se z dobré série výrobků stala špatná. Přísnější tolerance u skeneru samotného to nevyřeší. Samotný krok vypalování musí být dostatečně přesný.
Vytvořili jsme infračervenou lampu s integrovaným vzduchovým nožem, který pomáhá bojovat proti dvěma hlavním problémům: termickému posunu a kontaminaci. Oba tyto faktory ničí možnost opakovatelnosti výsledků ještě předtím, než je vůbec uvidíte na grafu výsledků.
Co je důležité uvnitř zařízení
Zařízení spojuje emitor krátkovlnného infračerveného záření s vzduchovým nožem, který se nachází hned vedle něj. Lampa rychle a efektivně zahřívá, přičemž má přesnou kontrolu spektra. To umožňuje udržet termické odchylky pod kontrolou.
Rovnoměrnost teploty na povrchu čipu je udržována na úrovni ±0,1 °C. Kontrolujeme ji pomocí měření přímo na místě, nikoliv na základě údajů z jediného senzoru. Vzduchový nož vytváří laminární proud, který odstraňuje částice a vlhkost z povrchu, poté je odvádí z komory. Počet částic zůstává v rozmezí platných standardů pro čisté prostory třídy 1–100.
Výsledkem je stabilní teplotní prostředí jak při měkkém, tak i tvrdém vypalování, konzistentní kontrola kritických rozměrů a méně oprav.
Proč to funguje v litografii
Průběh zpracování fotorezistu je velmi citlivý – je citlivý na historii teploty a defekty ve vzduchu. Toto zařízení rychle dosahuje požadované teploty, takže doba nečinnosti je minimální a profil vypalování zůstává konzistentní.
Všechny materiály jsou kompatibilní s čistými prostorami a celá systémová cesta vzduchu je uzavřená, takže nedochází k uvolňování látek do prostředí. Spotřeba energie je nižší než u konvekčních troub, protože energie jde přímo do fólie, nikoliv do stěn komory.
Spolehlivost závisí na době provozu. Zařízení pracuje více než 5 000 hodin s poklesem výkonu menším než 5 %, což umožňuje nepřerušovaný provoz 24/7.
Praktické detaily, které nelze ignorovat
Pro instalaci je potřeba speciální odvod vzduchu a je nutné zkontrolovat kvalitu dodávaného vzduchu. Pokud je filtrace nedostatečná, budou se částice znovu dostávat do procesu.
Lampa funguje nejlépe, pokud je viditelný přímý výhled na čip. Je tedy důležité věnovat pozornost geometrii okolo procesní komory.
Nastavte tlak vzduchového nože v rozsahu vhodném pro daný proces. Příliš vysoký tlak může narušit fotorezist, příliš nízký tlak zase zabrání odstranění částic. Je také důležité nastavit spektrum emitoru tak, aby odpovídalo absorpční charakteristice fotorezistu – tak dosáhnete nejlepší rovnoměrnosti.