Udržení vaší čisté místnosti třídy 100 opravdu čistou
Pokud provozujete továrnu na polovodiče, určitě znáte noční můru spojenou se znečištěnou výrobkem. V prostředí třídy 100 nemohou topné prvky uvolňovat částice nebo plynové emise. To prostě není možné.
Většina běžných infračervených lamp se při vysokém teplotním zatížení rozpadne. Degradují se, odlupují se a uvolňují mikroskopické částice přímo do vaší výrobní linky. Je to katastrofa, která se může kdykoliv stát.
My to řešíme použitím vysoce čistého syntetického křemene.
Proč je křemen důležitý
Používáme spálenou síru s nízkým obsahem hydroxylu (OH). Jednoduše řečeno: trubice se nezdeformuje ani neodlupuje, když se teploty zvyšují.
Kromě toho umožňuje krátkovlnnému infračervenému záření projít přímo skrz, aniž by ho většinou pohlcovalo. To je obrovská výhoda – trubice zůstává relativně chladná, zatímco wafer nebo substrát přijímá veškeré teplo.
Instalace do vaší továrny
Nikdo nechce předělávat celou konstrukci své továrny jen proto, aby mohl nahradit lampu. Proto jsme je navrhli tak, aby šly jednoduše nahradit. Udržujeme velmi přesné tolerance co do délky a průměru, aby šly prostě zapnout.
Používáme také specializované elektrody. Ty se v průběhu času neoxidují, což vám ušetří spoustu problémů s údržbou.
Jedna rychlá rada: sledujte hustotu napětí. Naše vysokowattážní trubice vás rychle dostanou do požadované teploty, ale spotřebují hodně energie. Pokud používáte více než 2000 W v malém prostoru, ujistěte se, že vaše chladiče dokážou zvládnout teplo vznikající kolem konců lampy.
Už žádné období „spalování“
Zde je skutečný sekret. Většina lidí si myslí, že jde o nějakou sofistikovanou povrchovou úpravu, ale ve skutečnosti jde o čistotu surového křemenu a o to, jak ho čistíme.
Odstraníme všechny organické zbytky ještě předtím, než lampy opustí naši továrnu.
Obvykle mají nové lampy fázi „spalování“, během které uvolňují uhlíkové částice do čisté místnosti hned po zapnutí. U našich lamp to tak není. Stačí je zapnout a fungují čistě od první sekundy.