http://ir-heater-tech.com/ar/tags/%D8%AD%D8%B1%D8%A7%D8%B1%D8%A9/ Recent content in حرارة on Cutting-Edge IR Heating Technology Hugo ar Mon, 01 Jun 2026 18:11:53 +0800 http://ir-heater-tech.com/ar/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ Mon, 01 Jun 2026 18:11:53 +0800 http://ir-heater-tech.com/ar/posts/uniform-heat-for-300mm-wafer-ir/ <p><img src="http://ir-heater-tech.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="حرارة متجانسة لشريحة 300 مم بالأشعة تحت الحمراء"></p> <p>على خط 300 مم، خبز الفوتوريسست هو المرحلة التي تثبت فيها الميزانية الحرارية. حافة ساخنة أو باردة، انحراف خلال الخبز الصلب، وتتدهور موحدة أبعاد الصورة (CD)—تتراكم النفايات بينما يواصل المجدول دفع نفس الدفعة. قمنا بتطوير وحدة تسخين أشعة تحت حمراء (IR) لرقائق 300 مم لإزالة هذا التغير من المعادلة.</p> <p><strong>ما يهم فعليًا</strong></p> <p>الحصول على حرارة موحدة عبر رقاقة 300 مم يبدأ بمصفوفة انبعاث الأشعة تحت الحمراء قصيرة الموجة وتصميم حراري قائم على الكوارتز يحافظ على توحيد مستوى الرقاقة ضمن ±0.1°C عبر السطح بأكمله. تكرار منحنيات درجة الحرارة ثابت، لذا تتبع ملفات التعريف لكل من الخبز اللين والخبز الصلب الوصفة بدقة، دفعة بعد دفعة. تعمل الوحدة في غرف نظيفة من الفئة 1–100 دون إضافة جسيمات—مبعثات محكمة الإغلاق، مسارات كوارتز خاملة، وتركيبات متوافقة مع غرف التنظيف تحافظ على انعدام توليد الجسيمات.</p>