
停止在半导体制造过程中浪费能源吧!
说实话,半导体制造过程中浪费能源不仅仅是成本问题,更是设计上的缺陷。在加热晶圆时,我们需要的不仅是让晶圆变热,还要确保那些能量能够真正作用于硅片上。很多时候,大部分能量都被浪费掉了,导致机器外壳发热,而不是让产品被加热。这时,镀金反射器就派上用场了——它们就像镜子一样,把能量反射回正确的方向。
为何要使用镀金材料?
普通的石英灯会将辐射能量散射到各处,这样既不高效又浪费能源。大部分热量都会被机器外壳吸收,最终变成无用的热量。而通过使用镀金薄膜,我们可以改变表面处理能量的方式。黄金具有出色的红外线反射能力,远胜于铝或抛光钢。它可以将分散的热量集中起来,从而减少浪费。
当然,也有其代价……
虽然这种方式可以更快地达到目标温度,但也会给灯具带来更大的压力。如果冷却系统不够强大,或者无法承受这样的热量负荷,那么灯具的灯丝就可能会烧毁。在将这类灯具用于高密度阵列之前,务必检查一下空气流动情况,这样就能避免后续出现问题。
如何使用这些灯具?
好消息是,这些灯具可以直接替代现有的红外加热器。只需将它们连接到现有的控制器上即可使用。不过有一点需要注意:由于镀金层能够防止机器吸收环境中的热量,因此机器的发热状况会有所变化。你可能需要调整PID参数,以避免温度过高。
这其实是一种简单的替换方式,而且还能避免浪费那些从未真正作用于晶圆的电能。