在经过化学清洁处理后，对MEMS传感器晶圆进行干燥是一个极其危险的过程。为什么呢？因为这简直就是在玩火啊！当空气中存在易燃或易爆的化学蒸汽时，普通的红外灯不仅无法起到作用，反而会成为引发火灾的隐患。只要有一个微小的火花或某个接点过热，就有可能引发爆炸。这种状况简直就是噩梦，让工厂管理者夜不能寐。
防止火花产生 我们决定不再使用暴露在空气中的照明装置。取而代之的是，我们将石英管置于密封且具有化学抗性的套管中。这相当于给石英管加上了一个保护层，使其与周围的空气完全隔绝。这样一来，那些易挥发的有机化合物就无法接近带电的接点了。
不过，密封部分也有可能出现故障，比如出现裂缝或泄漏。为了解决这个问题，我们使用了高温氟橡胶密封圈。这种密封圈能够承受反复的加热和冷却而不发生损坏。同时，我们还会根据具体的压力差来选择合适的密封圈，因为如果密封失效，蒸汽就会渗入其中，而这是绝对不可接受的。
热量平衡问题 我们选择使用短波红外灯。这种灯光能快速照射到晶圆表面，这样晶圆在“危险区域”中的停留时间就会大大缩短。我们还调整了灯光的功率，以便让液体快速蒸发，同时避免基材过热。
不过，也有一个问题：由于灯体是密封的，热量不会像开放式灯具那样散发到空气中，而是被困在灯体内。这就意味着灯体的温度会更高。因此，必须确保冷却系统能够正常工作，否则石英管或密封件就可能会因为过热而损坏。
易于安装 最棒的是，这些产品可以直接替代现有的干燥模块。由于热源被隔离了，所以无需再为整个设备打造庞大的防爆外壳。这样一来，设备的体积就能保持较小，车间空间也能保持整洁。而且，由于设备不会发生爆炸，人们也可以更安心地使用它了。