停止为设备内部壁面加热
为半导体加工设备内部提供热量其实是一件麻烦事。虽然需要向晶圆或基底输送大量热量，但同时又不能让这些热量渗透到设备的内部壁面中。
当热量四处扩散时，设备的侧壁就会吸收这些热量。这样一来，设备表面就会变得非常烫，而冷却系统则不得不持续工作以防止设备过热损坏。
关键在于使用黄金反射器。
普通的红外灯会将热量向各个方向散发——也就是360度全方位散射。我们通过将红外灯与高纯度黄金反射器结合来解决这个问题。黄金并非仅用于制作珠宝，它还能有效反射红外光波。这样一来，热量就不会四处散开，而是被集中在一个特定的方向上。
这样一来，热量就能精准地传递到需要的地方。设备的内部壁面就不会过热，而空调或制冷系统也不必再过度工作了。
需要注意几点。
由于热量被集中到一个点上，因此安装灯具的位置必须谨慎选择。如果距离太近，部件可能会过热；而如果距离太远，热量又会散开，从而失去有效的隔热效果。这需要一定的平衡技巧，但这样做是值得的。
最棒的是，这种灯具可以直接替代原有的灯具。虽然功率保持不变，但热能却能更有效地发挥其作用。
保障人员安全。
归根结底，这一切都是为了保障安全。当技术人员打开设备进行维护时，他们就不必担心手会被60摄氏度的高温金属烫伤。通过使用定向红外灯，热量可以被引导到工件上，这样就能确保操作过程更加安全。