فیکٹری میں، جیسے ہی ویفر صفائی کے عمل سے باہر نکلتا ہے، گھڑی کام شروع کر دیتی ہے۔ باقی رہنے والی نمی ایک بڑی مشکل ہے؛ اس سے داغ پیدا ہو جاتے ہیں، اور ایک ہی پانی کا داغ پوری لائن کو تباہ کر سکتا ہے۔ آپ کو ایسے ہیٹر کی ضرورت ہے جو درجہ حرارت کو مستقل طور پر برقرار رکھ سکے، یعنی پورے ویفر پر ہر وقت۔
تکنیکی لحاظ سے کیا اہم ہے؟
ہم نے صنعتی ویفر خشک کرنے والے ہیٹرز کو شارٹ-ویو انفراریڈ (NIR) عناصر اور کوارٹز-ہیلوجن لیمپوں کے ساتھ تیار کیا ہے؛ اس کی وجہ یہ ہے کہ اس سے فوری ردِعمل اور مستحکم آؤٹ پٹ حاصل ہوتا ہے۔ چک پر درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.1°C کے اندر رہتی ہے، اس لیے فوٹوریزسٹ کی پروسیسنگ کے دوران درجہ حرارت کنٹرول میں رہتا ہے۔
کلین روم کلاس 1–100 کے معیارات کو بھی اس ڈیزائن میں شامل کیا گیا ہے۔ ہم کم گیس خارج کرنے والے مواد، HEPA فلٹرز کے ساتھ مناسب ہوا کا بہاؤ، اور حرارتی عمل کے دوران کسی قسم کے ذرات کی پیداوار سے بچنے کے لئے خصوصی اقدامات کرتے ہیں۔ یہ سسٹم 24/7 کام کرتا ہے، اور ہمارے ڈیٹا کے مطابق، معمول کے وقتوں میں کوئی بھی تعطل نہیں ہوتا۔ دہرائی کی صلاحیت، بند لوپ پائرومیٹری اور PID کنٹرول کی بدولت حاصل ہوتی ہے۔
عملی طور پر یہ کیوں کام کرتا ہے؟
ویفر خشک کرنے کے عمل میں فائدہ صرف “خشک ویفر” تک محدود نہیں ہے؛ بلکہ اس سے عمل کا درست کنٹرول بھی ممکن ہوتا ہے۔ درجہ حرارت کی یکسانیت سے فوٹوریزسٹ میں خرابیاں کم ہوتی ہیں، لائنوں کی گہرائی کا کنٹرول بہتر ہوتا ہے، اور لیتھوگرافی کی کارکردگی بہتر ہوتی ہے۔ تیز رفتار حرارتی عمل سے چکر کا وقت کم ہو جاتا ہے، اور مستحکم درجہ حرارت سے فضول کام اور دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے۔
مخصوص NIR حرارت اور کم بیک اپ لاس سے توانائی کی کھپت کم رہتی ہے۔ لمبی عمر والے لیمپوں اور ماڈیولر ڈیزائن سے سپیئر پارٹس اور دیکھ بھال کے اوقات کم ہو جاتے ہیں۔ نتیجے کے طور پر مستقل آؤٹ پٹ، مستحکم آلات، اور کم تعطل حاصل ہوتا ہے۔
آپ کو کیا جاننے کی ضرورت ہے؟
یہ ہیٹر SEMI معیارات کے مطابق ہیں، لیکن انسٹالیشن کے دوران الائنمنٹ اور حرارتی انٹرفیس کی جانچ ضروری ہے۔ PID گینز کو اپنے چیمبر کے وزن اور گیس کے بہاؤ کے مطابق ایڈجسٹ کرنے کے لئے ایک مختصر ٹیسٹ رن ضروری ہے۔
زیادہ نمی والے کلین روموں میں بھی اس کا استعمال ممکن ہے، لیکن لیمپوں کی باقاعدگی سے جانچ اور کلین روم کے معیارات کے مطابق فلٹریشن ضروری ہے۔ اس طرح 5,000 گھنٹوں سے زیادہ کے استعمال کے بعد بھی ذرات کی تعداد اور آؤٹ پٹ کی استحکام برقرار رہتا ہے۔