На виробничому майданчику профілі випікання змінюються — і вихід продукції страждає. Звичайні випромінювачі не можуть підтримувати температуру по всій пластині. Крайки отримують недостатнє пропікання, тоді як центр перегрівається. Така варіабельність призводить до втрат часу, енергії та придатних плашок.
Що має значення з технічної точки зору
Ми використовуємо інфрачервоний випромінювач із керамічною кришкою, який забезпечує субміліметрову рівномірність нагріву. В результаті досягається теплова однорідність по пластині в межах ±0.1°C. Керамічний корпус стабілізує емісивність і швидко реагує на зміну температури, а спеціально розроблена геометрія формує теплове поле, що відповідає робочому вікну процесу.
Від soft bake до hard bake профіль повторюється — від партії до партії, від інструмента до інструмента. Система працює в чистих приміщеннях класу 1–100 без підвищення рівня часток, а керамічна конструкція не виділяє газів і не контамінує фоторезист.
Чому це працює у літографії
У літографії необхідна температура, яка відповідає рецептурі, а не навколишньому середовищу. Цей випромінювач підтримує встановлене значення температури протягом усього циклу випікання, тому критичні розміри залишаються у межах специфікації. Потреба у повторній обробці зменшується. Відхід скорочується. Контроль ширини ліній зберігається точним.
Споживання енергії знижується, оскільки ми нагріваємо лише цільову зону, а не оточуючі кріплення. Завдяки тривалому ресурсу та стабільній потужності зменшується кількість непланових зупинок і скорочуються часові рамки технічного обслуговування.
Деталі, які можуть ускладнити роботу
Встановлення зводиться до точного вирівнювання — з необхідною точністю по площині пластини — та чистого теплового контакту. Зсув навіть на частку міліметра зміщує гарячу точку. Підбирайте випромінювач відповідно до геометрії камери та забезпечте підтримку контролером замкненого контуру зворотного зв’язку за довжиною хвилі.
Розігрів до теплової стабільності триває довше, ніж у резистивних нагрівачів. Після досягнення стабільності профіль залишається стабільним протягом змін.