วิธีหยุดปัญหาอนุภาคในห้องสะอาดระดับ Class 100
หากคุณเป็นผู้จัดการห้องสะอาดระดับ Class 100 สำหรับโรงงานผลิตชิป半導体 คุณก็คงรู้ดีว่ามีปัญหาอะไรบ้าง ปัญหาใหญ่ที่สุดก็คือการปล่อยก๊าซออกมา
อุปกรณ์ทำความร้อนแบบมาตรฐานนั้นไม่เหมาะสมสำหรับสภาพแวดล้อมแบบนี้เลย เมื่ออุณหภูมิสูงขึ้น อุปกรณ์เหล่านี้จะเริ่มปล่อยอนุภาคหรือสารอินทรีย์ที่ระเหยง่ายออกมา แค่อนุภาคเล็กๆ เพียงอันเดียวหรือก๊าซเพียงนิดเดียวก็สามารถทำลายชิปของคุณได้แล้ว น่าหงุดหงิดจริงๆ
เราแก้ปัญหานี้ด้วยการใช้อุปกรณ์ที่มีความบริสุทธิ์สูง นั่นคือหลอดไฟอินฟราเรดที่ทำจากควอตซ์ ร่วมกับสายไฟที่ทำจาก PTFE
ทำไมวิธีนี้ถึงได้ผล
เราใช้ควอตซ์สังเคราะห์ที่มีความบริสุทธิ์สูงสำหรับทำหลอดไฟ เพราะควอตซ์ชนิดนี้จะไม่ปล่อยควันหรือสลายตัวเมื่ออุณหภูมิสูงขึ้น มันจะยังคงอยู่ในตำแหน่งเดิมและทำหน้าที่ของมันได้อย่างดี โดยไม่มีปฏิกิริยากับอะไรเลย
ส่วนสายไฟนั้น เราใช้เฉพาะสายไฟที่เคลือบด้วย PTFE เท่านั้น เพราะเป็นวัสดุเดียวที่ไม่แตกหักหรือปล่อยก๊าซออกมาเมื่ออุณหภูมิสูงขึ้น หากคุณใช้สายไฟชนิด PVC หรือซิลิโคน ก็จะทำให้เกิดปัญหามากมาย และยังทำให้มีสิ่งปนเปื้อนเกิดขึ้นบนชิปของคุณอีกด้วย ไม่ดีเลย
ส่วนที่ยากคือการติดตั้ง
เพื่อให้การทำความร้อนมีประสิทธิภาพ เราจำเป็นต้องจัดวางอุปกรณ์ให้อยู่ในตำแหน่งที่เหมาะสม โดยต้องให้แหล่งความร้อนอยู่ใกล้กับจุดที่ต้องการทำความร้อนมากที่สุดเท่าที่จะเป็นไปได้
แต่นั่นก็สร้างปัญหาเรื่อง “ความร้อนสะสม” ขึ้นมา แม้ว่า PTFE จะทนต่อความร้อนได้ดี แต่ก็ไม่สามารถนำสายไฟมาวางติดกับควอตซ์ได้โดยตรง เพราะจะทำให้สายไฟละลายได้ ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีช่องว่างเล็กๆ หรือวัสดุกั้นเพื่อให้สายไฟมีพื้นที่หายใจได้
นอกจากนี้ เรายังต้องควบคุมกำลังไฟให้ดีด้วย แม้ว่าการเพิ่มกำลังไฟจะช่วยให้การเพิ่มอุณหภูมิเร็วขึ้น แต่ก็เป็นการเสี่ยงมาก เพราะกำลังไฟที่มากเกินไปจะสร้างความเสียหายให้กับควอตซ์ได้
สรุปสำหรับกระบวนการทำงานของคุณ
สุดท้ายแล้ว คุณก็แค่ต้องการอุปกรณ์ทำความร้อนที่ใช้งานได้อย่างมีประสิทธิภาพ โดยไม่สร้างปัญหาให้กับคุณ ด้วยวิธีนี้ คุณจะได้ระบบที่สมบูรณ์แบบ ไม่มีอนุภาคหรือก๊าซที่เป็นอันตราย และเซ็นเซอร์ของคุณก็จะทำงานได้อย่างราบรื่นอีกด้วย