ในโรงงานผลิตชิปนั้น เครื่องวัดเวลาจะเริ่มทำงานทันทีที่แผ่นวีเซอร์ออกมาจากถังล้าง ความชื้นที่เหลืออยู่ถือเป็นปัญหาใหญ่ เพราะจะทำให้เกิดรอยเปื้อนได้อย่างรวดเร็ว และคราบน้ำเพียงเล็กน้อยก็อาจทำให้กระบวนการผลิตหยุดชะงักได้ ดังนั้นจึงไม่สามารถใช้เครื่องทำความร้อนที่สามารถปรับอุณหภูมิได้ตลอดเวลาได้ แต่ต้องใช้เครื่องที่สามารถรักษาอุณหภูมิให้คงที่ได้ตลอดเวลา
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เราออกแบบเครื่องทำความร้อนสำหรับแผ่นวีเซอร์โดยใช้หลักการของรังสีอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น (NIR) และหลอดไฟควอตซ์-ฮาโลเจน พร้อมกับตัวทำความร้อนจากเส้นใยคาร์บอน สาเหตุก็เพราะว่าวิธีนี้ช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็วและมีความแม่นยำ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิทั่วทั้งแผ่นวีเซอร์อยู่ที่ ±0.1°C ซึ่งช่วยให้กระบวนการอบแผ่นวีเซอร์มีประสิทธิภาพมากขึ้น
นอกจากนี้ การออกแบบยังคำนึงถึงความเข้ากันได้กับห้องที่มีระดับความสะอาดระดับ 1–100 ด้วย เราใช้วัสดุที่มีการปล่อยก๊าซน้อย รวมถึงระบบระบายอากาศที่เหมาะสมกับเครื่องกรอง HEPA และไม่มีการสร้างอนุภาคใดๆ ขณะที่มีการเพิ่มอุณหภูมิ ระบบนี้สามารถทำงานได้ 24/7 และข้อมูลเกี่ยวกับอายุการใช้งานของอุปกรณ์ก็แสดงให้เห็นว่าไม่มีการหยุดทำงานโดยไม่คาดคิดเลยในช่วงเวลาการทำงานปกติ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิเกิดจากการควบคุมด้วยระบบ PID
เหตุผลที่วิธีนี้ได้ผลในทางปฏิบัติ ในการอบแผ่นวีเซอร์นั้น สิ่งสำคัญไม่ใช่แค่การทำให้แผ่นวีเซอร์แห้งเท่านั้น แต่ยังรวมถึงการควบคุมกระบวนการให้มีประสิทธิภาพด้วย ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิช่วยลดข้อบกพร่องของแผ่นวีเซอร์ และช่วยให้การผลิตมีประสิทธิภาพมากขึ้น การเพิ่มอุณหภูมิอย่างรวดเร็วช่วยลดเวลาในการผลิต โดยไม่ส่งผลต่อคุณภาพของแผ่นวีเซอร์ และการควบคุมอุณหภูมิที่มั่นคงช่วยลดการเกิดของเศษวัสดุและการต้องทำงานซ้ำ
การใช้รังสีอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นและการใช้พลังงานในปริมาณที่น้อยช่วยให้สามารถควบคุมการใช้พลังงานได้ดี นอกจากนี้ อายุการใช้งานของหลอดไฟที่ยาวนานและการออกแบบที่สามารถปรับเปลี่ยนได้ยังช่วยลดค่าใช้จ่ายในการซ่อมบำรุงอีกด้วย ผลลัพธ์ก็คือการผลิตที่มีความสม่ำเสมอ อุปกรณ์ที่มีความเสถียร และลดการหยุดทำงานของลำดับการผลิต
สิ่งที่คุณควรรู้ เครื่องทำความร้อนเหล่านี้สามารถนำมาใช้กับแพลตฟอร์มที่เป็นมาตรฐาน SEMI ได้ แต่คุณยังต้องตรวจสอบการจัดวางและการเชื่อมต่อทางความร้อนในขณะติดตั้งด้วย ควรมีการทดสอบการทำงานเล็กน้อยเพื่อปรับค่า PID ให้เหมาะสมกับขนาดของห้องและการไหลของก๊าซ
นอกจากนี้ ระบบนี้ยังสามารถทำงานได้ในห้องที่มีความชื้นสูงได้ แต่คุณยังต้องมีการตรวจสอบหลอดไฟเป็นประจำ และใช้ระบบกรองอากาศที่มีคุณภาพสูงด้วย นี่คือวิธีที่จะช่วยให้จำนวนอนุภาคและความสม่ำเสมอของการผลิตอยู่ในระดับที่ดี แม้ว่าจะมีการทำงานเป็นเวลา 5,000 ชั่วโมงขึ้นไปก็ตาม