Como parar o problema das partículas em salas limpas de classe 100
Se você gerencia uma sala limpa de classe 100 em uma fábrica de semicondutores, certamente já sabe quais são os desafios envolvidos. O maior problema é a geração de gases indesejados.
A maioria dos elementos de aquecimento convencionais é inútil nesses ambientes. Assim que atingem a temperatura de operação, começam a liberar partículas ou compostos orgânicos voláteis (COVs). Uma pequena partícula ou um traço de gás podem estragar completamente as suas pastilhas de silício. É frustrante.
Resolvemos esse problema usando uma combinação simples e eficaz: lâmpadas infravermelhas de quartzo, combinadas com fios revestidos de Teflon (PTFE).
Por que isso funciona?
Usamos quartzo sintético de alta pureza para fazer as invólucros das lâmpadas. A razão é simples: ele não libera fumaça nem se degrada quando fica quente. Ele simplesmente permanece no lugar, realizando sua função sem reagir a nada.
Quanto aos fios, usamos apenas fios revestidos de PTFE. Por quê? Porque é o único material que não se desintegra em poeira ou libera gases quando submetido ao calor. Se você tentar usar PVC ou silicone, vai acionar todos os alarmes da sala limpa. Além disso, haverá contaminantes em todo o substrato. Não é nada bom.
A parte complicada: instalação
Para que o aquecimento funcione de maneira eficiente, precisamos manter tudo o mais compacto possível. Queremos que a fonte de calor esteja o mais perto possível do alvo.
Mas isso cria um problema: o excesso de calor. Mesmo que o PTFE seja resistente ao calor, não se pode colocar os fios diretamente em contato com o quartzo. Eles vão derreter. É preciso deixar um pequeno espaço entre os fios e o quartzo.
Também é importante controlar a potência utilizada. É tentador aumentar a potência para acelerar o processo de aquecimento, mas isso é arriscado. Uma potência excessiva causa muito estresse nos selos de quartzo.
Conclusão
No final das contas, o que se quer é um sistema de aquecimento que funcione sem dificultar o trabalho. Com essa abordagem, obtenhamos uma solução eficaz. Sem partículas, sem gases indesejados, e sem picos repentinos na quantidade de partículas. Sua produtividade permanece alta, e, o mais importante, seus sensores ficam calmos.