Na linha de produção, o custo térmico relacionado à litografia começa com os processos de “soft bake” e “hard bake”. Uma variação de temperatura de 1,5°C, ou um ponto frio na superfície do wafer, pode causar mudanças rápidas nas dimensões críticas do mesmo. É assim que lotes inteiros acabam sendo descartados, o que paralisa toda a linha de produção.
Construímos lâmpadas infravermelhas para curar o fotoreativo, visando manter o perfil térmico estável, de turno em turno.
O que realmente importa é o controle no nível do wafer. Nossa fonte de luz de onda curta NIR transfere energia diretamente para o fotoreativo, de maneira rápida, mantendo a uniformidade da temperatura da superfície do wafer dentro de ±0,1°C. O corpo da lâmpada é feito de quartzo, com refletores de alta pureza, o que permite seu funcionamento eficiente em condições de classe 1–100, sem a geração de partículas indesejadas.
A repetibilidade da produção fica dentro de 0,5%, o tempo todo. O controle em circuito fechado mantém o perfil térmico dentro dos limites estabelecidos, sem excessos.
É assim que isso funciona na prática: as lâmpadas atendem aos padrões térmicos internacionais para equipamentos de semicondutores. Isso resulta em maior controle sobre as dimensões dos wafers, menos necessidade de retrabalho e menos desperdício.
O consumo de energia diminui, pois a lâmpada aquece apenas o fotoreativo, e não toda a câmara de processamento. Já utilizamos essas lâmpadas por mais de 5.000 horas, e observamos uma redução de menos de 5% no desempenho, o que mantém as condições de processamento consistentes entre os diferentes lotes.
Alguns pontos importantes: as lâmpadas são compatíveis com as interfaces padrão SEMI e com os sistemas de cura de fotoreativos comuns. No entanto, ainda é necessário prestar atenção à integração delas – a massa térmica do equipamento e o sistema de exaustão também são fatores importantes.
Planeje um período de teste breve para ajustar o perfil térmico de acordo com suas necessidades. Uma vez ajustado, o processo permanece sob controle, e a linha de produção continua funcionando normalmente.