Na linii produkcyjnej termiczny profil niezbędny do procesu litografii rozpoczyna się od etapów „miękkiego” i „twardego” wygrzewania płytki krzemowej. Nawet niewielka zmiana temperatury o 1,5°C lub występowanie chłodniejszych obszarów na powierzchni płytki może szybko wpłynąć na jej krytyczne wymiary. To właśnie powoduje konieczność wyrzucenia całych partii produktów i zatrzymania pracy linii produkcyjnej.
Stworzyliśmy specjalne lampy podczerwone służące do wysuszania fotorezystu, aby utrzymać stabilny termiczny profil w każdej fazie produkcji.
Najważniejsze jest kontrolowanie warunków na poziomie samej płytki krzemowej. Nasze źródło światła o krótkich falach emituje energię bezpośrednio do fotorezystu, co umożliwia utrzymanie jednorodności temperatury na powierzchni płytki w przedziale ±0,1°C. Korpus lampy jest zrobiony z kwarcu, a reflektory posiadają wysoką czystość – dzięki temu lampa może pracować w środowisku klasy 1–100 bez tworzenia dodatkowych cząstek.
Powtarzalność wyników pozostaje na poziomie 0,5% przez całą dobę, a system sterowania typu zamkniętego zapewnia utrzymanie termicznego profilu na ustalonej wartości – bez żadnych odchyleń.
To sprawdza się w praktyce: taka lampa spełnia międzynarodowe standardy dotyczące urządzeń do produkcji półprzewodników i stanowi efektywny ekwiwalent takich urządzeń. Dzięki temu uzyskujemy lepszą kontrolę nad wymiarami płytek krzemowych, mniej konieczności ponownego przetwarzania produktów oraz mniej odpadów.
Użytek energii jest mniejszy, ponieważ lampa ogrzewa sam fotorezyst, a nie całą komorę. Urządzenia te funkcjonują już od 5 000 godzin, a spadek wydajności wynosi mniej niż 5%, co zapewnia stałość parametrów procesu w różnych partiach produktów.
Kilka praktycznych uwag: lampa jest kompatybilna ze standardowymi interfejsami SEMI oraz zwykłymi systemami wygrzewania płytek krzemowych. Jednak integracja tej lampy wymaga uwagi – ważna jest masa cieplna poszczególnych elementów oraz droga odprowadzania ciepła.
Zaleca się przeprowadzenie krótkiego okresu kalibracji, aby dostosować parametry lampy do specyfiki używanego fotorezystu. Gdy to zostanie zrobione, proces będzie pod kontrolą, a linia produkcyjna będzie mogła funkcjonować bez problemów.