Op de productielijn begint het thermische proces voor lithografie met een zogenaamde ‘soft bake’ en een ‘hard bake’. Een verschil van 1,5°C of een koud gebied op het gewicht zorgt er snel voor dat de cruciale dimensies veranderen. Hierdoor moeten hele batches worden weggeworpen en kan de productielijn stil komen te liggen.
We hebben infraroodlampen ontworpen die worden gebruikt om het thermische profiel stabiel te houden, shift na shift. Wat echt belangrijk is, is de controle op het niveau van het gewicht zelf. Onze NIR-lampen leiden energie rechtstreeks naar het fotoresistmateriaal, waardoor de uniformiteit op het gewicht binnen ±0,1°C blijft. Het lichaam van de lamp bestaat uit kwarts, met hoogzuivere reflectoren, zodat de lamp zonder problemen kan werken in een omgeving van klasse 1–100, zonder dat er deeltjes vrijkomen.
De reproduceerbaarheid van de uitvoer blijft rond de 0,5%, ongeacht de tijd van dag of nacht. De gesloten regelingscyclus zorgt ervoor dat het thermische profiel constant blijft – er is geen overschrijding van de ingestelde waarden.
Dit werkt in de praktijk omdat het voldoet aan de internationale standaarden voor halfgeleiderapparatuur. Hierdoor kan er betere controle worden uitgeoefend op de dimensies van het gewicht, worden er minder herwerkingsprocessen nodig en wordt er minder afval geproduceerd.
De energieverbruik neemt af, omdat de lamp alleen het fotoresistmateriaal verwarmt, en niet de hele ruimte. We hebben deze lampen al meer dan 5.000 uur in gebruik gehad, en het energieverbruik is nauwelijks gedaald tot minder dan 5%. Dit zorgt er weer voor dat de processen consistent blijven.
Een paar praktische tips: de lamp is compatibel met standaard SEMI-interfaces en gangbare lithografieprocessen. Echter, bij integratie moet nog rekening worden gehouden met de thermische massa van de apparatuur en de afvoer van warmte.
Plan een korte testperiode om het thermische profiel af te stemmen op uw specifieke behoeften. Eenmaal ingesteld, blijft het proces onder controle en kan de productielijn doorlopen.