300mmラインでは、ソフトベイクの際に温度が半度程度変動するだけで、重要な寸法の基準を満たせなくなり、多くのウェーハが廃棄処分されてしまいます。そのため、超純水を加熱するためのランプは単なる付属品ではありません。それは、クラス1～100の清浄室内でフォトレジストの処理を安定させるための重要な要素なのです。
私たちは、水の吸収特性に合わせた短波長赤外線を利用してこのランプを設計しました。これにより、ホットスポットが生じることなく、迅速に液体全体が加熱されます。流体経路全体の温度均一性は±0.1℃以内に保たれるため、ベイクプロセスの結果が毎回同じになります。石英製の構造と耐腐食性のある部品により、粒子の発生を防ぎ、超純水への継続的な露出にも対応できます。
5,000時間以上の使用でも出力は安定しており、強度の低下は5％未満です。この装置は24時間365日の運用に適しており、計画外の停止は一切ありません。
リソグラフィーにおいては、ソフトベイクやハードベイクには厳格な温度管理が求められます。このランプによって、ベイクプレートに供給される超純水の温度が一定に保たれ、サイクルごとに所定の範囲内に収まります。これにより、予測可能な寸法管理が実現し、再作業や廃棄物が減少します。
また、エネルギー消費量も削減されます。SWIRは必要な時だけ加熱するため、無駄なエネルギー消費はありません。さらに、長期間の使用に耐えられるため、メンテナンスも容易です。
実用的な点として、このランプはコンパクトな設計であり、流体経路に正しく配置され、定期的なメンテナンスが必要です。既存の装置にそのまま接続できると思わないでください。必ず事前にチェックしてください。
超純水の導電率、流量、コネクタの互換性を確認してください。これらが適切であれば、必要な再現性は熱によって自動的に実現されます。