Fermare il “terrore delle particelle” nelle sale pulite di classe 100
Se gestite una sala pulita di classe 100 per la produzione di semiconduttori, conoscete già i problemi legati a questo ambiente. Il problema principale è l’emissione di gas tossici. La maggior parte dei componenti termici standard rappresenta un problema in questi ambienti: non appena raggiungono la temperatura di funzionamento, iniziano a rilasciare particelle o composti organici volatili. Anche una piccolissima quantità di polvere o gas può rovinare i wafer. È davvero frustrante.
Abbiamo risolto questo problema utilizzando un sistema semplice ma efficace: lampade a infrarossi in quarzo, abbinate a cavi rivestiti in Teflon (PTFE).
Perché funziona
Utilizziamo quarzo sintetico ad alta purezza per le lampade. Il motivo è semplice: non emette fumi né si degrada quando diventa caldo. Rimane stabile e svolge il proprio compito senza reagire a nulla. Per quanto riguarda i cavi, utilizziamo soltanto quelli rivestiti in PTFE. Perché? Perché è l’unico materiale che non si frammenta in polvere o non emette gas quando è esposto al calore elevato. Se si utilizzano materiali come PVC o silicone, si rischia di attivare tutti gli allarmi presenti nella sala pulita. Inoltre, i substrati verranno contaminati. Non è certo una soluzione ideale.
La parte complicata: l’installazione
Per rendere il sistema di riscaldamento efficiente, dobbiamo mantenere tutto in uno spazio ridotto. Vogliamo che la fonte di calore sia il più vicina possibile al punto da riscaldare. Ma questo crea un problema: il calore può danneggiare il quarzo. Non si possono semplicemente posizionare i cavi direttamente sul quarzo: si scioglieranno. È necessario lasciare uno spazio tra i cavi e il quarzo. Inoltre, dobbiamo prestare attenzione alla potenza del riscaldamento. È tentativo aumentarla per accelerare il processo di riscaldamento, ma è un rischio. Troppa potenza creerebbe troppa pressione sui componenti in quarzo.
In sintesi
Alla fine, si vuole semplicemente un sistema di riscaldamento che funzioni senza causare problemi. Con questo approccio, si ottiene una soluzione efficace: nessuna polvere, nessun gas tossico, e nessun aumento improvviso delle particelle. Il tasso di produzione rimane alto, e, cosa ancora più importante, i sensori smettono di segnalare problemi.