300mm लाइन पर, फोटोरेसिस्ट बेक वह चरण है जहाँ आप थर्मल बजट को लॉक करते हैं। यदि बेक के दौरान किनारे पर तापमान अधिक या कम हो, या हार्ड बेक के दौरान ड्रिफ्ट हो, तो आपकी CD युनिफॉर्मिटी बिगड़ जाती है—स्क्रैप बढ़ता है जबकि शेड्यूलर लगातार उसी लॉट को धकेलता रहता है। हमने 300mm वेफर IR हीटिंग मॉड्यूल इस अस्थिरता को खत्म करने के लिए बनाया है।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है
300mm वेफर पर समान तापमान प्राप्त करना एक शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटर एरे और क्वार्ट्ज-आधारित थर्मल डिज़ाइन से शुरू होता है जो पूरे सतह पर ±0.1°C की सीमा में वेफर-स्तरीय युनिफॉर्मिटी बनाए रखता है। तापमान वृद्धि दोहराने योग्य होती है, इसलिए सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक प्रोफाइल रेसिपी के अनुरूप बिल्कुल ट्रैक होते हैं, बैच दर बैच। यह मॉड्यूल क्लास 1–100 क्लीनरूम में बिना पार्टिकल्स जोड़े चलता है—सील्ड एमिटर, इनर्ट क्वार्ट्ज पाथ और क्लीनरूम-अनुकूल फिक्स्चर पार्टिकल जनरेशन को शून्य पर बनाए रखते हैं।
यह लिथोग्राफी में क्यों महत्वपूर्ण है: बेक केवल हीटिंग नहीं है, यह प्रक्रिया नियंत्रण है। मॉड्यूल 7×24 घंटे ऑपरेशन के दौरान सेटपॉइंट को बनाए रखता है बिना अनपेक्षित डाउनटाइम के, जिससे आप थर्मल ड्रिफ्ट के बिना लगातार लॉट चला सकते हैं। इसका परिणाम स्थिर CD, कम पुनःकार्य और योजना के अनुसार यील्ड होता है। यह दक्ष भी है—एमिटर एरे केवल लक्षित क्षेत्र को तेज प्रतिक्रिया के साथ गर्म करते हैं, और लंबा सर्विस इंटरवल रखरखाव के समय को सीमित करता है।
इसे स्पेसिफाई करने से पहले कुछ व्यावहारिक नोट्स। मॉड्यूल मौजूदा ट्रैक और बेक प्लेट में इंटीग्रेट होता है, लेकिन इसे समर्पित पावर सर्किट और इंटरफेस पर कूलेंट तापमान स्थिरता की पुष्टि की आवश्यकता होती है। आपके कैरियर और बेक प्लेट का थर्मल मास मैच होना अनिवार्य है; यहां तक कि छोटा असंगति भी किनारे से किनारे भिन्नता के रूप में दिखाई देती है। मैकेनिकल एंवेलप और क्लीनरूम क्लियरेंस पहले से सुनिश्चित कर लें, तो यह मॉड्यूल बिल्कुल निर्दिष्ट अनुसार चलेगा।