300 मिमी लाइन पर, सॉफ्ट बेक के दौरान आधे डिग्री का तापमान-परिवर्तन ही क्रिटिकल डाइमेंशन संबंधी मानकों को बिगाड़ने के लिए पर्याप्त है… इसके कारण बहुत सारे वेफर बर्बाद हो जाते हैं। वे अत्यधिक शुद्ध पानी से चलने वाले हीटिंग लैंप, केवल अतिरिक्त उपकरण नहीं हैं… बल्कि ये ही वे उपकरण हैं जो क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण प्रक्रिया को स्थिर रखने में मदद करते हैं।
हमने इन लैंपों को शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तरंगों के आधार पर बनाया है… ऐसा करने से पानी में तेज़ गति से ऊष्मा पहुँचती है, एवं कोई “हॉट स्पॉट” नहीं बनता। तरल पदार्थ के मार्ग में तापमान स्थिर रहता है… ±0.1°C के भीतर… ऐसा ही होने से हर बार एक ही परिणाम प्राप्त होता है। क्वार्ट्ज़ एवं क्षय-प्रतिरोधी सामग्रियों के उपयोग से कोई कण उत्पन्न नहीं होता… एवं ये लैंप लगातार उच्च-शुद्धता वाले पानी के संपर्क में भी काम कर सकते हैं।
5,000 घंटों से अधिक समय तक इन लैंपों का प्रदर्शन स्थिर रहता है… एवं इनकी तीव्रता में 5% से भी कम कमी आती है। ये लैंप 24/7 ऑपरेशन के लिए ही डिज़ाइन किए गए हैं… इनसे कोई अप्रत्याशित बंद होने की स्थिति नहीं आती।
लिथोग्राफी में, सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक के दौरान तापमान को बहुत ही सटीक रूप से नियंत्रित करना आवश्यक है… ऐसे में ये लैंप बेक प्लेट में आने वाले पानी के तापमान को नियंत्रित करने में मदद करते हैं… ऐसे में हर बार एक ही परिणाम प्राप्त होता है। इससे क्रिटिकल डाइमेंशन संबंधी मानकों को आसानी से नियंत्रित किया जा सकता है… एवं बर्बाद होने वाले वेफरों की संख्या भी कम हो जाती है।
ऊर्जा की खपत भी कम होती है… शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तरंगें आवश्यकता के अनुसार ही ऊष्मा प्रदान करती हैं… इसलिए कोई अतिरिक्त ऊर्जा बर्बाद नहीं होती। लंबे समय तक काम करने की क्षमता के कारण रखरखाव की प्रक्रिया भी आसान हो जाती है।
ये लैंप छोटे होते हैं… इन्हें तरल पदार्थ के मार्ग के साथ सही तरीके से संरेखित करना आवश्यक है… एवं नियमित रूप से इनकी जाँच भी आवश्यक है। इन्हें सीधे ही पुराने उपकरणों में जोड़ना संभव नहीं है… इसलिए इनके एकीकरण की जाँच अवश्य करें।
UPW की चालकता, प्रवाह-दर, एवं कनेक्टरों की संगतता की जाँच अवश्य करें… जब ये सब ठीक हों, तो आपको वांछित परिणाम ही प्राप्त होंगे… ऐसा ही होने से कोई अतिरिक्त प्रयास आवश्यक नहीं रहेगा।