בחדר הייצור, הבקרה על הטמפרטורה בתהליך הליתוגרפיה מתחילה עם שלבי החימום הראשוניים. שינוי של 1.5°C בטמפרטורה, או אזורים קרים על גבי הוואפר, יכולים לגרום לשינויים משמעותיים בממדים החשובים של הוואפר. זו הסיבה שלפעמים צריך לזרוק כמויות שלמות של וואפרים, דבר שעלול לעכב את תהליך הייצור.
יצרנו נורות אינפרא-אדום לטיפול בחומר הפוטורזיסט, כדי לשמור על יציבות הטמפרטורה בכל שלב של התהליך. מה שחשוב באמת הוא הבקרה על רמת הטמפרטורה על גבי הוואפר עצמו. מקור האנרגיה בגלי אינפרא-אדום מזרים אנרגיה ישירות לתוך החומר הפוטורזיסט, במהירות, ובכך שומר על אחידות הטמפרטורה על גבי הוואפר בטווח של ±0.1°C. גוף הנורה עשוי מקוורץ, עם משקפים בעלי טווח החזרה גבוה, כך שהנורה עובדת בצורה יעילה בסביבה מסוג Class 1–100, ללא הוספת חלקיקים.
השגרתיות של התהליך נשמרת בטווח של 0.5%, והבקרה האוטומטית שומרת על רמת הטמפרטורה הרצויה – ללא סטיות. זו הסיבה שהפתרון הזה עובד בפועל: הוא עומד בתקנים הבינלאומיים לציוד לייצור שבבים, ומאפשר שליטה טובה יותר על הממדים של הוואפר. כתוצאה מכך יש פחות צורך בתיקונים, ופחות חומרים שצריך לזרוק.
שימוש האנרגיה פוחת, מכיוון שהנורה מחממת רק את החומר הפוטורזיסט, ולא את כל חדר הייצור. כבר עבדנו עם הנורות האלו במשך 5,000 שעות וראינו ירידה של פחות מ-5% ביעילות התהליך, מה שמאפשר שליטה טובה יותר על תהליך הליתוגרפיה.
כמה הערות פרקטיות: הנורה תואמת את הממשקים הסטנדרטיים של SEMI, אך עדיין יש צורך בתיאום נכון – גודל החום של הוואפר ומסלול האוורור חשובים מאוד.
יש לבצע ניסויים קצרים כדי ליישב את ההגדרות של הנורה בהתאם לסוג החומר הפוטורזיסט שנעשה בו שימוש. לאחר שההגדרות יהיו מתאימות, התהליך יישאר תחת שליטה, והייצור ימשיך כרגיל.