Reflektor für Wafer Härtungslampe
Vermeiden Sie, dass die Stopplampen Ihre Wafer zerstören
Wenn eine Lampe während der Trocknung der Wafer ausfällt, handelt es sich nicht nur um ein...
Präziser Infrarot Sensor für Wafern
Verhindern Sie, dass Ihre IR-Lampen Ihre Wafer zerstören
Wenn Ihnen schon einmal eine Lampe mitten in einem intensiven Betriebszyklus ausgefallen...
Trocknungsheizer für MEMS Sensorwafer
Das Trocknen von MEMS-Sensormassen nach einer chemischen Reinigung ist ein äußerst riskanter Prozess. Warum? Weil man damit im Grunde genommen mit...
Sicherheitsabstand bei der Waferverschmelzung
Warum wir die Infrarot-Härtung bei der Waferverarbeitung verwenden
Reden wir über das Trocknen und Härtungsvorgänge. In der Halbleiterindustrie haben...
Energieeffizienter Waferheizer
Warum wir die alten Öfen durch IR-Härteverfahren ersetzen
Lange Zeit wurde bei der Herstellung von Halbleitern auf diese riesigen Konvektionsöfen...
Heizgerät für industrielle Wafer Trocknungsanlagen
In der Fertigungsstätte beginnt die Zeiterfassung genau in dem Moment, in dem der Wafer das Reinigungsbad verlässt. Restfeuchtigkeit ist ein echtes...
Gleichmäßige Erwärmung für 300 mm Wafer IR
Auf einer 300mm-Linie ist das Fotoresist-Backen der Punkt, an dem das thermische Budget festgelegt wird. Eine heiße oder kalte Kante, eine Drift...
Mittelwellen Infrarotheizung für Wafer
Auf dem Lithografie-Floor geht das Ofenlicht an, die Glocke hebt sich, und man wartet darauf, dass der Wafer den Sollwert erreicht. Nicht „nahe...