V provozu výroby začíná termální management při litografii procesem měkkého a tvrdého zahřívání destiček. Odchylka o 1,5 °C nebo chladné místo na povrchu destičky mohou rychle ovlivnit kritické rozměry. Právě proto se celé série destiček mohou znehodnotit a výroba se zastaví.
Vytvořili jsme Infračervené lampy určené k vysoušení fotorezistů, aby byl termální profil stabilní i během jednotlivých výrobních procesů.
Ve skutečnosti je důležitá kontrola na úrovni samotné destičky. Náš zdroj krátkovlnného infrazáření přenáší energii přímo do fotorezistu, rychle, a udržuje tak jednotnost teploty na povrchu destičky v rozsahu ±0,1 °C. Tělo lampy je vyrobeno z křemene, s reflexními prvky vysoké čistoty – takže funguje bez problémů v prostředí třídy 1–100, bez přidávání částic.
Opakovatelnost výstupu zůstává pod 0,5 % po celou dobu provozu. Řízení v uzavřené smyčce udržuje termální profil na nastavené hodnotě – bez nadměrného pokroku.
Důvodem úspěchu tohoto řešení je to, že splňuje mezinárodní standardy pro tepelné parametry polovodičového vybavení. Díky tomu je možná lepší kontrola rozměrů destiček, méně oprav a méně zmetků.
Spotřeba energie klesá, protože lampa zahřívá pouze fotorezist, nikoli celou komoru. Používáme tyto lampy již více než 5 000 hodin a vidíme spadek výstupu jen o méně než 5 %, což zajišťuje konzistentnost procesu při výrobě různých sérií destiček.
Několik praktických poznámek: lampa je kompatibilní se standardními rozhraními SEMI a běžnými procesy zahřívání destiček. Avšak integrace stále vyžaduje pozornost – hraje roli tepelná hmotnost jednotlivých částí a cesta odvodu tepla.
Plánujte krátký testovací období na naladění parametrů podle vašich potřeb. Jakmile jsou parametry nastaveny, proces zůstává pod kontrolou a výroba může pokračovat.