ফ্যাব ফ্লোরে, লিথোগ্রাফির জন্য প্রয়োজনীয় তাপীয় অবস্থা নির্ধারণ করতে “সফট বেক” ও “হার্ড বেক” প্রক্রিয়া ব্যবহৃত হয়। ওয়েফারে ১.৫°C এর মতো তাপমাত্রা-পরিবর্তন ঘটলে, বা ওয়েফারের কোনো অংশ ঠান্ডা থাকলে, তার গুরুত্বপূর্ণ মাপদণ্ডগুলো দ্রুত পরিবর্তিত হয়ে যায়। এর ফলে পুরো উৎপাদন প্রক্রিয়া ব্যাহত হয়।
আমরা ঐ তাপীয় অবস্থাকে স্থিতিশীল রাখার জন্য ইনফ্রারেড ল্যাম্প ব্যবহার করি। আসলে গুরুত্বপূর্ণ হলো ওয়েফারের স্তরে নিয়ন্ত্রণ রাখা। আমাদের NIR শর্ট-ওয়েভ সোর্সগুলো দ্রুত শক্তি ওয়েফারে সরবরাহ করে; ফলে ওয়েফারের তাপমাত্রা ±০.১°C এর মধ্যেই থাকে। ল্যাম্পটি কোয়ার্টজ দিয়ে তৈরি; এতে উচ্চ-বিশুদ্ধতার রিফ্লেক্টর রয়েছে। তাই এটি Class 1–100 পরিবেশে নির্বিঘ্নে কাজ করে।
আউটপুটের পুনরাবৃত্তি সবসময় ০.৫% এর মধ্যেই থাকে; ক্লোজড-লুপ নিয়ন্ত্রণের ফলে তাপীয় অবস্থা নির্ধারিত মানেই থাকে।
এটি কার্যকর কেন? কারণ এটি আন্তর্জাতিক সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামের তাপীয় মানদঙ্গুলো পূরণ করে। ফলে CD নিয়ন্ত্রণ আরও ভালো হয়; পুনরাবৃত্তি কমে যায়, আর অপচয়ও কমে যায়।
শক্তি ব্যবহার কমে যায়; কারণ ল্যাম্পটি শুধুমাত্র রেসিস্টকেই উত্তপ্ত করে, পুরো চেম্বারকে নয়। আমরা ৫,০০০+ ঘণ্টা ধরে এই ল্যাম্পগুলো ব্যবহার করেছি; আউটপুটে ৫% এরও কম হ্রাস দেখা গেছে। এর ফলে বিভিন্ন ব্যাচে ফটোরেসিস্ট প্রক্রিয়া স্থিতিশীল থাকে।
কয়েকটি ব্যবহারিক বিষয়: ল্যাম্পটি স্ট্যান্ডার্ড SEMI ইন্টারফেস ও সাধারণ লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়াগুলোর সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ। কিন্তু ইন্টিগ্রেশনের ক্ষেত্রে মনোযোগ দেওয়া প্রয়োজন—স্টেজের তাপীয় মান ও এক্সহস্ট প্যাথও গুরুত্বপূর্ণ।
আপনার রেসিস্ট স্ট্যাকের জন্য প্রোফাইলটি সামঞ্জস্য করার জন্য অল্প সময়ের জন্য ল্যাম্পটি ব্যবহার করুন। একবার এটি সেট হয়ে গেলে, প্রক্রিয়াটি নিয়ন্ত্রণেই থাকে, আর উৎপাদন প্রক্রিয়া চালিয়ে যাওয়া যায়।