تجفيف رقائق أجهزة الاستشعار من نوع MEMS بعد عملية التنظيف الكيميائي هو عملية محفوفة بالمخاطر. لماذا؟ لأنك في الأساس تلعب بالنار. عندما تكون هناك أبخرة كيميائية قابلة للاشتعال أو متفجرة في الهواء، فإن المصباح الأشعة تحت الحمراء العادي ليس مجرد أداة، بل يُعتبر مصدر خطر. فشرارة صغيرة واحدة أو نقطة ساخنة على أحد الأطراف قد تؤدي إلى اندلاع حريق. إنها سيناريو كابوسي يجعل مديري المصانع يقضون لياليهم في القلق.
وقف الشرارات
قررنا التوقف عن استخدام المصابيح المفتوحة. بدلاً من ذلك، وضعنا أنبوب الكوارتز داخل غلاف محكم الإغلاق ومقاوم للمواد الكيميائية. يمكن اعتبار ذلك غلافًا واقيًا، حيث يحمي الاتصالات الكهربائية من التأثيرات الخارجية. وبذلك، لا يمكن للمركبات العضوية المتطايرة أن تقترب من الأطراف الموصولة بالكهرباء. عادةً، ما تكون الختمات هي الجزء الذي يتعرض للتلف، فهي تتشقق أو تتسرب أو تفشل في أداء وظيفتها. لحل هذه المشكلة، نستخدم وصلات مصنوعة من مواد فلوروإلاستومرية عالية الجودة، والتي يمكنها تحمل درجات الحرارة العالية دون أن تتلف. كما نختار هذه الوصلات بناءً على فروق الضغط المطلوبة، لأنه إذا فشل الختم، فإن الأبخرة ستدخل إلى الداخل، وهو أمر غير مقبول.
توازن الحرارة
نستخدم أشعة تحت الحمراء ذات الطول الموجي القصير. فهي تصيب سطح الرقاقة بسرعة، مما يعني أن الرقاقة تقضي وقتًا أقل في “المنطقة الخطرة”. لقد قمنا بضبط الطاقة الخاصة بالمصباح بحيث تتبخر السوائل بسرعة، دون أن يحدث ارتفاع في درجة حرارة الرقاقة. لكن هناك مشكلة: بما أن المصباح محكم الإغلاق، فإن الحرارة لا تتبدد في الهواء كما هو الحال مع المصابيح المفتوحة. بالتالي، يصبح المصباح أكثر سخونة. يجب أن يتم تنظيم نظام التبريد وتدفق الهواء بشكل صحيح، وإلا فإن الكوارتز أو الختمات قد تتلف.
التناسب مع الأجهزة القائمة
الجزء الأفضل هو أن هذه الأجهزة مصممة لتكون بديلاً لوحدات التجفيف القائمة. بما أن مصدر الحرارة معزول، فلا حاجة إلى بناء صندوق ضخم ومقاوم للانفجار حول الجهاز بأكمله. وبذلك، يظل حجم الجهاز صغيرًا، ويظل المكان نظيفًا، ويمكنك أن تتنفس براحة، لأن الجهاز لن ينفجر.